記者｜張喬遇

半導(dǎo)體前道設(shè)備的國產(chǎn)化進(jìn)程一直備受關(guān)注。截至2023年末，前道量檢測設(shè)備的國內(nèi)企業(yè)市場份額約為5%，在主要半導(dǎo)體前道設(shè)備里，僅高于光刻機(jī)的國產(chǎn)化程度。無錫卓海科技股份有限公司（簡稱：卓?？萍迹?/span>作為行業(yè)參與者，正試圖在這樣的市場環(huán)境中突圍。

近日，二手設(shè)備修復(fù)廠商卓?？萍?/span>創(chuàng)業(yè)板上市被否后，又將目光瞄準(zhǔn)北交所。

此前深交所對于卓?？萍缄J關(guān)創(chuàng)業(yè)板IPO所需要具備的技術(shù)先進(jìn)性及創(chuàng)新性持懷疑態(tài)度，多次要求公司說明自身業(yè)務(wù)是否符合創(chuàng)業(yè)板定位。最終卓?？萍?/span>以不符合發(fā)行條件、上市條件或信息披露要求上會被否，該次IPO歷時半年。

前次IPO終止后的兩年時間里，卓?？萍紭I(yè)務(wù)發(fā)展迅速，營業(yè)收入年復(fù)合增長率達(dá)21.70%，且自研設(shè)備應(yīng)力測量設(shè)備、方塊電阻設(shè)備、反射光譜厚膜測量儀等3款產(chǎn)品已實現(xiàn)商業(yè)化。界面新聞注意到，卓?？萍荚谶@期間大量申請專利超30項，此次闖關(guān)北交所，其自研設(shè)備的收入占比有所增長，但超過90%收入仍依靠修復(fù)設(shè)備貢獻(xiàn)。

目前公司自研設(shè)備仍采用委外生產(chǎn)模式。卓?？萍紡亩衷O(shè)備修復(fù)邁向自研設(shè)備自主生產(chǎn)，仍面臨諸多挑戰(zhàn)。

同樣募投項目計劃融資額大增

此次IPO，在律師事務(wù)所與會計師事務(wù)所維持不變的情況下，卓海科技將保薦機(jī)構(gòu)從光大證券更換為海通證券。除此之外，公司募資額也較前次出現(xiàn)了大漲。

闖關(guān)創(chuàng)業(yè)板時，卓海科技計劃募集資金5.47億元，投資項目分別為半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目、研發(fā)中心建設(shè)項目和補充流動資金。本次闖關(guān)北交所投資項目不變，但募集資金金額增至7.00億元，對應(yīng)半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目、研發(fā)中心建設(shè)項目、補充流動資金募集資金同比分別增加92.72%、9.39%和15.08%。

半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目實施期均為3年，但卓?？萍?/span>并未對募投資金大幅增加的原因作出解釋。

值得注意的是，半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目投資概算中，人工費用未有太大變化，設(shè)備購置費從642萬元增加至2070萬元，建筑工程費中新增7470萬元毛坯建設(shè)，此外還提到了一筆土地購置費1120萬元。卓海科技指出，本項目預(yù)計稅后項目投資內(nèi)部收益率為15.69%，稅后投資回收期為6.02年。

研發(fā)中心建設(shè)項目的具體投資也有所改變，前次IPO更多的重點放在設(shè)備購置上，擬募集1.38億元用于設(shè)備購置，本次研發(fā)中心建設(shè)項目減少至3280萬元，主要購置用于高精度暗場缺陷檢測設(shè)備、高精度顆粒檢測設(shè)備等，而高達(dá)1.63億元用于研發(fā)費用。卓海科技將使用位于無錫市新吳區(qū)的22.4畝土地作為研發(fā)中心建設(shè)項目用地。

去年毛利率大降

成立初期，卓?？萍贾饕獜氖掳雽?dǎo)體設(shè)備的技術(shù)服務(wù)及貿(mào)易業(yè)務(wù)。2011年聚焦前道量檢測設(shè)備市場，并逐步從事前道量檢測設(shè)備修復(fù)業(yè)務(wù)，2020年開始組建整機(jī)自研團(tuán)隊。

2022年至2024年，卓?？萍嫉臓I業(yè)收入分別為3.14億元、3.81億元和4.65億元；凈利潤分別為1.19億元、1.32億元和1.04億元。

卓海科技報告期各期均有92%以上收入來自修復(fù)設(shè)備，自研設(shè)備自2023年創(chuàng)收，2023年、2024年收入分別為509.65萬元、1214.96萬元，占主營業(yè)務(wù)收入不足3%。此外還有部分零部件和技術(shù)服務(wù)收入。

卓?？萍?/span>目前從事的大部分工作系對退役設(shè)備進(jìn)行功能修復(fù)和精度修復(fù)，使退役設(shè)備完全恢復(fù)至全新出場時的功能和技術(shù)參數(shù)，供給芯片產(chǎn)線使用。

需要指出的是，卓?？萍?/span>部分型號修復(fù)設(shè)備在采購環(huán)節(jié)，因競購方較多，采購價格較高。然而，受下游需求影響，設(shè)備銷售價格并未顯著上漲。受此影響，疊加半導(dǎo)體行業(yè)景氣度等因素作用，前道量檢測修復(fù)設(shè)備2024年毛利率從上年的61.09%大幅下滑至46.49%，2024年出現(xiàn)增收不增利的情況。

在A股市場中，前道量檢測設(shè)備廠商主要以中科飛測（688361.SH）、精測電子（300567.SZ）控股子公司上海精測、中微公司（688012.SH）參股子公司睿勵儀器等企業(yè)為主，但均主要從事前道量檢測設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)，與卓海科技不屬于同一模式，目前還沒有與卓海科技完全一致的上市公司。

關(guān)于創(chuàng)業(yè)板定位及核心技術(shù)是卓海科技在前次IPO時被重點關(guān)注的問題。北交所定位為服務(wù)創(chuàng)新型中小企業(yè)、重點支持先進(jìn)制造業(yè)和現(xiàn)代服務(wù)業(yè)等領(lǐng)域的企業(yè)，推動傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級。關(guān)注包括技術(shù)創(chuàng)新或模式創(chuàng)新、研發(fā)投入與科技成果轉(zhuǎn)化等情況。

卓海科技所從事的半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備屬于“過程控制設(shè)備”，在控制芯片良率、評判工藝方案優(yōu)劣方面作用顯著。前道量檢測設(shè)備具有精密度高、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、技術(shù)難度大、品類眾多的特點，目前國內(nèi)的產(chǎn)業(yè)化尚處于起步階段，中國企業(yè)在前道量檢測設(shè)備市場所占市場份額處于較低水平，僅5%（約1.76億美元），大量的企業(yè)根據(jù)自身需要依靠境外KLA、AMAT、Hitachi等國際原廠采購和境內(nèi)采購修復(fù)設(shè)備滿足需求。

截至2025年2月末，卓海科技自研設(shè)備在手訂單為2486.05萬元，自研業(yè)務(wù)下游客戶涵蓋士蘭微、捷捷微電、比亞迪、格力等。

值得注意的是，對于自研設(shè)備、核心組件及零部件，卓?？萍忌a(chǎn)均通過委外加工進(jìn)行，公司主要進(jìn)行設(shè)計環(huán)節(jié)，形成圖紙、特定參數(shù)等核心技術(shù)方案。

兩年內(nèi)新增的71項專利含金量夠嗎？

根據(jù)此前披露招股書，截至2022年6月30日，卓?？萍脊矒碛?5項專利權(quán)，其中發(fā)明專利8項，其余17項為實用新型專利，均為原始取得。

北交所發(fā)行上市審核動態(tài)第11期已對擬IPO企業(yè)的創(chuàng)新特征作出多項規(guī)定。北交所指出，在該所申報發(fā)行上市的企業(yè)，原則上應(yīng)當(dāng)符合三項基本指標(biāo)要求。其中一項要求企業(yè)通過獨立或合作研發(fā)形成知識產(chǎn)權(quán)成果，并將其應(yīng)用于公司主營業(yè)務(wù)。

具體而言，通常需擁有3項以上Ⅰ類知識產(chǎn)權(quán)或52項以上軟件著作權(quán)。截至2024年6月底，249家北交所上市公司平均每家擁有22項發(fā)明專利。

數(shù)據(jù)來看，在2022年6月30日至2024年末，卓?？萍嫉膶＠麢?quán)數(shù)量大幅攀升至96項。其中，發(fā)明專利增加到44項，實用新型專利增加到52項。盡管卓?？萍荚缭?009年便已設(shè)立，但其99%以上的專利都是在2019年及之后申請的，最早的一項專利申請是在2018年。

招股書顯示，卓?？萍家丫邆?2英寸規(guī)格、14nm先進(jìn)制程的部分設(shè)備修復(fù)能力，公司秉承“修研并舉，雙線發(fā)展”的發(fā)展模式。根據(jù)此前披露問詢函，卓?？萍己诵募夹g(shù)主要是設(shè)備修復(fù)的技術(shù)提升，更多來自日常生產(chǎn)過程中經(jīng)驗和修復(fù)技術(shù)的持續(xù)積累。生產(chǎn)過程主要包括對退役設(shè)備的故障診斷、功能修復(fù)、精度恢復(fù)、產(chǎn)線適配等，主要系生產(chǎn)人員憑借技術(shù)經(jīng)驗，結(jié)合退役設(shè)備各類問題的具體顯現(xiàn)表征定位問題所在，針對存在的配件缺失、損壞、老化、功能異常、精度不佳的具體問題及產(chǎn)險適配需求，通過維修、增加配件、調(diào)試、校準(zhǔn)等方式實現(xiàn)。

前次IPO之后，卓海科技申請的專利大多與自研設(shè)備相關(guān)，共計82項，其中發(fā)明專利41項。此外，還形成了18項與自研設(shè)備相關(guān)的軟件著作權(quán)。雖然專利數(shù)量顯著增加，但這些專利是否真正轉(zhuǎn)化為商業(yè)價值，仍有待考證。

同時，與之形成鮮明對比的是，卓?？萍嫉难邪l(fā)投入仍處于較低水平。2022年至2024年，卓?？萍嫉难邪l(fā)費用分別為1508.33萬元、2842.14萬元和3369.13萬元，占營業(yè)收入的比重分別為4.81%、7.46%和7.25%。

2022年及2023年，中科飛測的研發(fā)費用率分別為40.40%和25.26%；精測電子的研發(fā)費用率分別為21.02%和26.37%。相比之下，卓?？萍嫉难邪l(fā)投入不高，公司稱，自身的研發(fā)方向側(cè)重于修復(fù)技術(shù)的提升，與中科飛測等以自研設(shè)備為基礎(chǔ)開展的用于支持整機(jī)開發(fā)的業(yè)務(wù)模式有所區(qū)別。